集成电路洁净出产车间是为了满意半导体制作工艺需求的工业洁净室，该洁净室对环境洁净度、温湿度、振荡、ESD(静电操控)、AMC(气态分子级污染物)操控等都有必定的要求。相关于其他工业洁净室，集成电路洁净出产车间有面积大、洁净等级高、温湿度操控精度高等特色。

集成电路制作各工艺环境操控要求

根据洁净室车间空气循环特色能够将洁净室分为三种类型：循环空调机合作高效送风口体系、循环风机合作湿式密封体系和FFU循环体系。

第一种方式在小规模低等级要求的洁净室车间规划中被广泛应用，关于大面积高等级的洁净车间则存在运转本钱过高、占用空间过大等缺点。

第二种方式的规划能够满意集成电路制作无尘车间大面积高等级的要求，但运转本钱较高，并且洁净室风速、风量调节困难，体系晋级改造困难，因而操作灵活性很低。

第三种方式的FFU循环体系不仅节省运转空间、洁净度安全性高、运转本钱低，并且操作灵活性很高，能够在不影响出产的情况下随时进行体系晋级和调整，这些都能很好地满意半导体制作的需求，因而在半导体制作业FFU循环体系逐步成为最主要的净化规划方案。

FFU循环体系的特色

整个洁净室由静压层、工艺层、工艺辅佐层和回风通道组成，由FFU供给循环空气的动力，将新风、循环风混合后通过超高效过滤器送入工艺层和工艺辅佐层，静压层相关于工艺层为负压。此外，还有出产辅佐区为集成电路制作厂务设备区域，包括电力供应、气体和化学品供应、超纯水供应等。

集成电路制作对洁净出产车间环境的操控有较为严格的要求。不同的工艺制程对洁净度的要求也各不相同，例如光刻要求在1级的微环境下，而化学机械研磨则只要求1000级的环境即可。另外，集成电路制作洁净厂房对噪声、微振、照度等都有相关的规则和要求，尤其是振荡的操控，在洁净室的建筑结构规划上就要有所要求。

好的洁净车间规划不仅能节省能源、降低运转本钱、降低人力投入，并且能够给出产供给安全可靠的确保。在3种洁净体系中，FFU循环体系运转本钱最低，洁净度安全性最高，因而集成电路洁净厂房多选用FFU循环体系。

而洁净度要求越高，温湿度操控精度越高则洁净室出资和运转本钱越高，因而在大环境洁净度或温湿度要求相对较低的情况下，将一些要害的工艺设备布置在较高洁净度或温湿度操控区域内是集成电路制作洁净厂房的规划趋势。

集成电路制作是高能耗的产业，而洁净空调体系的能耗则占其间的30%以上，因而节能安全的洁净室规划和各种热能收回规划将是未来的发展方向。跟着集成电路制作技能的不断晋级，干流大厂已经进入了纳米时代，集成电路制作洁净厂房的规划建造和节能立异也需要不断提高。